МШПС-2.0К

Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К

Также это изделие может называться: МШПС2.0К, МШПС 2.0 К, mshps-2.0k, mshps2.0k, mshps 2.0k.

МШПС-2.0К мера ширины и периода специальная предназначена для передачи размера единицы длины и калибровки (поверки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Сфера применения: микро-, опто-, наноэлектроника, нанотехнология, микромеханика, фармацевтика и микробиология, производство полимеров и генная инженерия, создание наноструктурных материалов, оснащения органов государственных и метрологических служб.

Технические характеристики МШПС-2.0К:

Диапазон передачи размера единицы длины - от 10^-9 м до 10^-4 м.

Номинальное значение шага шаговой структуры меры - 2 мкм.

Калибровка РЭМ (5 мин.):

- увеличение;

- диаметр электронного зонда.

Калибровка АСМ (5 мин.):

- цена деления по X-, Y-, Z-координатам;

- радиус острия кантилевера;

- линейность и ортогональность осей сканирования.

Допустимое отклонение МШПС-2.0К от номинального значения шага шаговой структуры - ±0,05 мкм.

Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры - от 10 нм до 500 нм.

Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах МШПС-2.0К - от 100 нм до 1400 нм.

Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры - от 75 нм до 980 нм.

Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры - не более 5 нм.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размеров - ±2 нм.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размера - ±1 нм.

Геометрическая форма элемента рельефа шаговой структуры - трапеция с углом наклона боковых сторон относительно плоскости нижнего основания 54,7°.

Габаритные размеры меры МШПС-2.0К без оправы - 10×10×0,5 мм.

Масса меры с оправой - не более 0,009 кг.

Условия эксплуатации:

Температура окружающего воздуха - от +17° С до+23° С.

Относительная влажность - от 50% до 80%.

Атмосферное давление - от 96 Па до 104 Па.

Меры МШПС-2.0К представляют собой совокупность пяти групп рельефных шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 10 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости. Имеют маркерные линии и цифры, позволяющие однозначно находить измеряемый элемент рельефа.